Bád Vaiféir SiC Ard-Íonachta

Réitigh Réimse Teirmeacha Optamaithe le haghaidh Déantúsaíochta 4-12 Orlach

Cén fáth a bhfuil na Monarchana Ceannródaíocha ag Aistriú ó Bháid Grianchloiche go Báid SiC?

Níos fearr ná grianchloch a theipeann go dosheachanta ag 1150∘C mar gheall ar dhíghloiniú, coinníonn ár mbáid SiC cruinneas geoiméadrach iomlán faoi strus teirmeach foircneach. A bhuíochas dá dlús ard, cuireann maitrís CVD SiC cosc ​​ar sceitheadh ​​​​cáithníní ina rianta. Tá sé tógtha go sonrach chun déileáil le héilimh 'nialasacha-thuras' phróisis monaraíochta fo-mhicrón an lae inniu.

Déileálann ár gcomhpháirteanna le glanadh ionsaitheach HF/HNO3 i bhfad níos fearr ná grianchloch, rud a mhaireann níos faide agus a laghdaíonn costais athsholáthair. Le bainistíocht theirmeach optamaithe le haghaidh téamh tapa, cothrom, soláthraíonn siad an chobhsaíocht phróisis atá riachtanach do sceallóga 4 orlach go 12 orlach i dtáirgeadh ardtoirte.

Léargais Saineolaithe

Murab ionann agus báid ghraifíte traidisiúnta a bhíonn bunaithe go mór ar sciatha ar leibhéal an dromchla, cuireann ailtireacht mhonaliteach SiC-ar-SiC Semixlab deireadh leis an "neamhoiriúnacht" struchtúrach idir an tsubstráit agus an craiceann. Trí na comhéifeachtaí leathnaithe a aontú ar fud an aonaid ar fad, tá an tinneas cinn ainsealach tionscail maidir le dí-áitiú réitithe againn. I gcás monarchana ardtoirte 8 n-orlach agus 12 n-orlach, ní uasghrádú ábhartha amháin atá anseo - is réabhlóid TCO é. Le saolré seirbhíse 5 huaire níos mó ná grianchloch caighdeánach, déanann ár mbáid SiC soladacha costas inchaite a chlaochlú ina shócmhainn táirgthe fadtéarmach.

Sonraíochtaí Teicniúla & Saincheapadh

Is féidir linn gach rud a chur in oiriúint do do shocrú foirnéise ar leith—cibé acu cothrománach nó ingearach—agus é a choigeartú do do riachtanais chruinne láimhseála vaiféir.

Feidhmchláir tipiciúla 

Tá ár mbáid SiC tógtha do na dálaí monaraíochta is deacra. Coinníonn siad a gcruth go foirfe le linn eipitacsú Si/SiC in ainneoin greanadh H2, agus is sábháil beatha é a n-íonacht ard do phróisis scaipthe ina bhfuil riosca éillithe. I gcás ALD agus LPCVD, feidhmíonn siad mar mhais theirmeach chobhsaí chun a chinntiú go dtaiscíonn an scannán go cothrom ar fud na sliseán go léir.

Sceitse den phróiseas CVD le haghaidh sciath báid SiC, ag cinntiú íonachta 7N agus dlús aonfhoirmeach

1) Íonacht Thar a Bheith Ard 7N (Capsúlú CVD) In ​​ionad sciath bhunúsach, úsáidimid capsúlú CVD SiC ard-dlúis chun íonacht dhomhanda de 99.99999% a ghlasáil isteach. I gcás gléasanna cumhachta ardvoltais cosúil le IGBTanna agus MOSFETanna, ní rogha é seo—is é an t-aon bhealach chun eisíontais mhiotalacha (Fe, Ni, Cu) a stopadh go crua ó shruthanna sceite tubaisteacha a spreagadh.

2) Geoiméadracht Sliotán Innealtóireachta Beacht Ní dhéanaimid "méid amháin a oireann do chách." Cibé an bhfuil clais V caighdeánach nó sliotán U speisialaithe uait le haghaidh láimhseáil vaiféir tanaí, leochaileacha, coinníonn ár n-ionaid CNC lamháltais daingean go ±0.05mm. Maraíonn an cruinneas foircneach seo crith na vaiféir ag an bhfoinse agus laghdaíonn sé strus imeall le linn aistrithe róbatacha ardluais.

3) Timthriall Dleachta Optamaithe & Meaitseáil CTE Is é an pointe teipe is mó i mbáid atá brataithe ná dí-áitiú. Tá an fhadhb seo réitithe againn trí neart nasctha an sciath a choigeartú chun go mbeidh sé foirfe i gcomhréir le Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach (CTE) an tsubstráit. An toradh? Bád a mhaireann timthriall teirmeach gan staonadh i bhfoirnéisí Ocsaídiúcháin agus Scaipthe gan an sciath ag scealpadh ná ag feannadh ón ábhar bonn.