Cumhdach Carbíde Tantalam CVD (TaC).

De ghnáth, breithnítear sciath TaC nuair a thosaíonn SiC ag teacht ar a theorainneacha. Tarlaíonn sé seo níos minice in eipitacsas nó fás criostail SiC, áit a bhfuil an teocht agus atmaisféar an phróisis araon níos déine.

Le pointe leá i bhfad níos airde, is fearr a láimhseálann TaC nochtadh ardteochta níos faide, go háirithe i dtimpeallachtaí ina bhfuil hidrigin nó HCl. Go praiticiúil, déanann sé seo difríocht i bpróisis cosúil le fás PVT, áit a mbíonn tionchar díreach ag cobhsaíocht theirmeach ar cháilíocht criostail.

I measc na ngnáthfheidhmchlár tá fáinní treorach sreafa, sealbhóirí síl, páirteanna a bhaineann le breogán, agus struchtúir eile laistigh den réimse teirmeach. Bíonn na comhpháirteanna seo nochta do dhálaí crua ar feadh tréimhsí fada, mar sin tá sé tábhachtach díghrádú a laghdú. I roinnt socruithe, tá TaC ag athsholáthar ábhar níos sine cosúil le pBN, agus fiú roinnt páirteanna atá brataithe le SiC, cé go mbraitheann sé seo fós ar chostas agus ar dhearadh próisis.