Paddle Cantilever Silicon Carbide

Is comhpháirt thionsclaíoch ardfheidhmíochta í Paddle Cantilever Carbide Sileacain atá bunaithe ar theicneolaíocht SiC Nasctha Imoibrithe (RBSiC). Deartha le haghaidh cásanna crua amhail próiseáil sliseán leathsheoltóra, sciath cealla fótavoltach agus taisceadh gaile ceimiceach ardteochta (CVD). Is féidir lena struchtúr cantilever uathúil aon-láimhe, in éineacht le tréithe friotaíochta foircneacha charbide sileacain, cruinneas dífhoirmithe leibhéal milliméadair a choinneáil i dtimpeallacht leanúnach ardteochta de 1350 ℃, rud a fhágann gur réiteach réabhlóideach é chun grianchloch traidisiúnta, cóimhiotail miotail agus ábhair eile a athsholáthar.

Dul chun cinn ábhartha: Atógáil innealtóireachta ar charbaíd sileacain

1. Míorúilt mhicrea an phróisis shintéirithe imoibrithe

Cruthaítear thart ar 10-15% de chéim sileacain shaor ag teorainn gráin an phaidéil cantilever tríd an bpróiseas sintéirithe imoibrithe ina dtéann leá sileacain isteach sa réamhfhoirm sic, ag cruthú struchtúr idirghlasála tríthoiseach. Tugann an micreastruchtúr seo dlús 3.02 g/cm³ dó, tréscaoilteacht níos lú ná 0.1%, agus neart lúbtha suas le 250 MPa (20 ℃) ​​agus meáchan éadrom á choinneáil aige (40% níos lú ná cruach dhosmálta), agus modúl leaisteach de 300 GPa á choinneáil aige fiú ag 1200 ℃.

2. An chothromaíocht deiridh de pharaiméadair theirmidinimiciúla

Rialaítear comhéifeacht leathnú teirmeach (CTE) an chantaileara go beacht ag 4.5 × 10-6K-1, atá an-mheaitseáilte le hábhar sciath an trealaimh LPCVD (taisceadh gaile ceimiceach ísealbhrú) chun an strus comhéadain de bharr mí-oiriúnaithe teirmeach a laghdú. Sroicheann a sheoltacht theirmeach 45 W / (m·K) ag 1200 ℃, rud a fhéadann teas a shú go tapa agus róthéamh áitiúil a sheachaint, agus leis an dearadh paitinnithe den eagar poll diomailt teasa, tá an difríocht teochta sa tráidire vaiféil níos lú ná 2 ℃ / m².

Buntáiste teicniúil: An léim ó shaotharlann go olltáirgeadh

1. Dearadh oiriúnaitheach uathoibríoch

Glacann limistéar ualaigh an phaidéil cantilever struchtúr fuinneoige modúlach (cruinneas cróluas ±0.05mm), a thacaíonn le córas greamaithe nasctha 12-ais atá feistithe le vaiféir 150-300mm agus atá comhoiriúnach leis an lámh róbait. Soláthraíodh tiús balla grádáin (δ₁=8.6mm go δ₁ 4.8mm) do na foircinn sheasta chun an dochtacht struchtúrach a chinntiú agus an meáchan foriomlán a laghdú 22% i ₃ chun freastal ar na ceanglais chobhsaíochta dinimiciúla i dtarchur ardluais.

2. Réabhlóid i rialú truaillithe

Trí shraith pasivithe SiO₂ 2-5μm a ghiniúint in-situ ar an dromchla, bíonn deascadh ian miotail Cl₂, HF agus ian miotail níos lú ná 0.1 ppb sa lann cantilever, atá 3 ord méide níos ísle ná an t-ábhar alúmana. Tar éis 1000 tástáil timthriall ardteochta, bíonn líon na gcáithníní dromchla a thiteann i gcónaí níos lú ná 5 /m2, rud a chomhlíonann ceanglais ghlantachta Aicme 10 maidir le déantúsaíocht leathsheoltóirí.

Sonraigh go tapa:

1. Ainmneacha eile: Padal aistrithe vaiféil ardteochta; feithicil cantilever RBSiC; ardán cantilever brataithe; Cantilever monailiteach SiC.

2. Iarratas: 

Déantúsaíocht leathsheoltóra: Iompar sceallóga i bhfoirnéisí idirleata, foirnéisí annála, foirnéisí ocsaídiúcháin agus trealamh eile.

Sciath fótavoltach: Tacaíonn sé le hiompar sliseog próisis PECVD cealla TOPCon/HJT,

3. Paraiméadair lárnacha: Is é 380 MPa (teocht an tseomra) → 280 MPa (1400℃) an neart lúbtha, is é 4.2 × 10⁻⁶/℃ an comhéifeacht leathnú teirmeach, agus tá an ráta creimeadh de 40% HF níos lú ná 0.008 mm/bliain. Úsáid leanúnach ag atmaisféar támh 1600℃, timpeallacht ocsaídiúcháin 1400℃, tacaíonn sé le timthriall turraing theirmeach 1400℃↔25℃ 500 uair.

Déantúsaíocht sliseog leathsheoltóra

Raic sceallóga foirnéise scaipthe: Sa phróiseas dópála fosfair/bóróin, déantar an sceallóg sileacain 300mm a chóireáil teasa ag 1250 ℃/8 n-uaire an chloig, agus tá an t-athróg crutha níos lú ná 0.1mm/m.

Tráidire fáis eipitacsach: Le haghaidh taisceadh MOCVD de shraitheanna eipitacsacha SiC, ag tacú le suíomh nanaiscála vaiféir faoi fholús 10-6 Torr.

Táirgeadh cealla fótavoltacha

Feithicil sciath PERC: faoi réir buamála plasma 800 ℃ i dtrealamh PECVD, saol seirbhíse níos mó ná 5000 uair, 8 n-uaire níos airde ná ábhair graifíte.

Sintéiriú Léasair TOPCon: Le córas léasair le leithead cuisle de 10ns, baintear amach cruinneas ailínithe sintéirithe roghnach an tsraith sileacain pholachriostalach chúl le ±3μm.

1. Dul chun cinn fo-threorach i airíonna ábhartha

Glacann an lián cantilever sileacain charbaíde teicneolaíocht shintéirithe imoibríoch charbaíde sileacain (RBSiC), agus téann sé isteach i maitrís charbaíde sileacain tríd an leá sileacain chun struchtúr dlúth a bhaint amach le tréscaoilteacht <0.5%. Tá a neart lúbtha chomh hard le 380 MPa (teocht an tseomra), agus coinníonn sé neart 280 MPa ag teocht ard 1400 ℃ fós.

2. Cobhsaíocht i dtimpeallachtaí foircneacha

Friotaíocht ardteochta: teocht oibre leanúnach suas le 1600 ℃ (atmaisféar támh), friotaíocht ghearrthéarmach go 1800 ℃ ardteocht mheandarach (amhail próiseas shintéirithe léasair), gan aon riosca bogúcháin ná dífhoirmithe.

Friotaíocht creimeadh: Ráta creimeadh aigéid láidre amhail HF, HCl, agus H₂SO₄ < 0.01 mm/bliain. Mhéadaigh an saolré i seomraí imoibrithe CVD ina bhfuil Cl₂/O₂ 5-8 n-uaire i gcomparáid le hábhair ghraifíte.

Friotaíocht turraing theirmeach: Tacaíonn sé le timthriall athraithe teochta tapa 1400 ℃ ↔ 25 ℃ (ΔT = 1375 ℃), gan scoilteadh ná maolú neart tar éis 500 timthriall.