EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Criadóireacht scagach Fholúis chuck
Sonraigh go tapa:
1. Ainmneacha eile: Chuck folúis ceirmeach scagach, chuck SiC scagach, chuck scagach.
2. Feidhmchlár: Gléas ionsúcháin folúis ardfheidhmíochta atá deartha le haghaidh ionsú agus socrú beacht vaiféir agus ingot, atá oiriúnach le haghaidh monarú leathsheoltóirí, gearradh vaiféir, meaisínithe beachtais, eipeitacsú ardteochta, greanadh, ionchlannú ian agus cásanna eile.
3. Paraiméadair lárnacha:
Inchoigeartaithe ar thrédhearcacht (10-200μm).
Teocht thar a bheith ard (≤1600°C), friotaíocht den scoth in aghaidh turraing theirmeach.
Folús ionsúcháin: caighdeánach -90kPa (is féidir é a shaincheapadh go 100kPa).
Méid cupán súite: Tacaíonn sé le sceallóga 4/6/8/12 orlach, is féidir méid an tinne a shaincheapadh.
Tuairisc
Is gléas ionsúcháin folúis ardfheidhmíochta é an chuck folúis ceirmeach atá deartha le haghaidh ionsú agus socrú beacht vaiféir agus ingot. Glacann sé struchtúr ilchodach de cheirmeach scagach + fáinne seachtrach miotail, in éineacht le dearadh saincheaptha ar chainéil aeir agus póir chun dáileadh fórsa ionsúcháin aonfhoirmeach agus ardchobhsaíocht a bhaint amach. Oiriúnach do mhonarú leathsheoltóirí, gearradh vaiféir, meaisínithe beachtais agus cásanna eile, tacaíonn sé le timpeallacht ghluaiseachta ardteochta, ardluais, agus is féidir leis freastal ar riachtanais chomhoiriúnachta méideanna éagsúla vaiféir/ingot.
Seirbhís saincheaptha
Saincheapadh méide agus ualaigh
Uasmhéadú stomata agus aerbhealaigh
Oiriúnú timpeallachta speisialta
Sampla dearaidh
Iarratais
Déantúsaíocht leathsheoltóra
Fás eipitacsach: Adsorbadh cobhsaí ar sceallóga SiC ag teochtaí arda chun saobhadh agus éilliú a sheachaint.
Litagrafaíocht agus greanadh: Suíomh beacht san ardán gluaiseachta ardluais (luasghéarú ≤10G) chun cruinneas an ailínithe grafaicí a chinntiú.
Próiseáil tinne
Gearradh agus meilt: Adsú tinne criostail throm (amhail tinne saifír, tinne sileacain charbaíde) chun scoilteadh imeall de bharr creathadh a chosc.
Taighde eolaíoch agus teicneolaíocht speisialta
Ainéalú ardteochta: oibríonn cupáin shúchán sileacain charbíde scagach ar feadh i bhfad ag 1600°C, gan dífhoirmiú ná truailliú aerála.
Sciath folúis: Dearadh ard-aerdhíonachta, comhoiriúnach le timpeallacht chuas PVD/CVD.
Buntáiste Iomaíoch
Struchtúr croí agus buntáistí ábhartha
1. Dearadh ilchodach ilchiseal
Ciseal dromchla: Ceirmeach scagach (cairbíd sileacain scagach nó graifít scagach roghnach), cró inchoigeartaithe (10-200μm) chun a chinntiú go n-aistrítear fórsa ionsúcháin go haonfhoirmeach chuig dromchla an sceallóige chun tiúchan struis áitiúil a sheachaint.
Maitrís: Fráma miotail ard-righin (cruach dhosmálta nó cóimhiotal alúmanaim) chun tacaíocht struchtúrach agus aerdhíonacht a sholáthar.
Aerbhealaí agus póir: Tacaíonn an líonra inmheánach d’aerbhealaí atá meaisínithe go beacht agus de mhicreapóir atá dáilte go cothrom le heastóscadh tapa i bhfolús (fórsa ionsúcháin suas le -90kPa) agus scaoileadh láithreach.
2. Comparáid idir airíonna ábhartha
| ábhar | Carbaíd sileacain scagach | Graifít scagach |
| Friotaíocht Teochta | Teocht thar a bheith ard (≤1600°C), friotaíocht turraing theirmeach den scoth | Teocht mheánach ard (≤800°C), seoltacht theirmeach níos fearr |
| Marthanacht ceimiceach | Friotaíocht creimeadh aigéad agus alcaile, friotaíocht creimeadh plasma | Frithsheasmhach in aghaidh gás neamh-ocsaídiúcháin, costas níos ísle |
| An radharc is infheidhme | Eipeatacsas ardteochta, greanadh, ionchlannú ian | Gearradh, meilt, pacáistiú vaiféir |
3. Feidhmíocht agus paraiméadair theicniúla ríthábhachtacha
| Tuairisc | Athmharc |
| Méid Chuck | Tacaíonn sé le sceallóga 4/6/8/12 orlach, is féidir méid na dtinní a shaincheapadh |
| Loading | Ualach uasta pláta aonair 50kg (airde ≤300mm) |
| Teocht Oibre | Carbaíd sileacain scagach: -50°C~1600°C; Graifít scagach: -50°C~800°C |
| Folús ionsúcháin | Caighdeánach -90kPa (inoiriúnaithe go -100kPa) |
Ceisteanna Coitianta
C: Conas cairbíd sileacain scagach agus chuck graifíte scagach a roghnú? Cad iad na príomhdhifríochtaí idir cairbíd sileacain scagach agus chuck graifíte scagach i bpróisis ardteochta? Conas an t-ábhar ceart a roghnú don chás feidhme?
A: Chuck charbaíde sileacain scagach:
Friotaíocht teochta: is féidir leis oibriú go cobhsaí ag teochtaí arda foircneacha ≤1600°C (amhail eipitacsú SiC, annealing ardteochta), friotaíocht turraing theirmeach den scoth, oiriúnach do radharcanna luaineachtaí teochta móra.
Friotaíocht creimeadh: seasamh in aghaidh creimeadh láidir aigéid, alcaile agus plasma, oiriúnach le haghaidh greanadh, ionchlannú ian agus próiseas gáis chreimneach eile.
Chuck graifít scagach:
Seoltacht theirmeach: Seoltacht theirmeach níos airde (200-400 W/m·K), oiriúnach do chásanna a éilíonn aistriú teasa tapa (amhail diomailt teasa ag gearradh vaiféil).
Geilleagar: Costas íseal, oiriúnach do thimpeallacht teocht mheánach ≤800°C (amhail pacáistiú, meilt).
Moltaí roghnúcháin:
Más mó ná 800°C an teocht phróisis nó más gá friotaíocht creimeadh, is fearr cairbíd sileacain scagach; más mian leat teocht phróisis íseal agus costéifeachtach a bhaint amach, is féidir graifít scagach a roghnú.
