Fáinní Séalaithe SSiC

Ag Semixlab, is ionann ár bhFáinní Séalaithe SSiC agus cloch choirnéil de theicneolaíocht séalaithe ardfheidhmíochta atá deartha do riachtanais dhian déantúsaíochta leathsheoltóirí nua-aimseartha. Déanta as cairbíd sileacain shintéirithe lán-dlúth, ard-íonachta, soláthraíonn na comhpháirteanna séalaithe seo cobhsaíocht cheimiceach eisceachtúil, seasmhacht theirmeach, agus neart meicniúil ar fud na dtimpeallachtaí folúis, ardteochta, agus gáis chreimneacha is déine. Le taithí innealtóireachta shaibhir i bpróiseáil vaiféir tosaigh, déanaimid réitigh séalaithe SSiC a dhearadh a fheabhsaíonn cobhsaíocht phróisis, a shíneann saolré trealaimh, agus a chosnaíonn toradh gléasanna i nóid leathsheoltóirí chun cinn.

Laistigh de phróisis eipitacsacha (Epi), áit a mbíonn sliseáin nochta d'atmaisféir shaibhir hidrigine, ceimiceáin chlóirínithe ionsaitheacha, agus teochtaí os cionn 1200°C, tá ról ríthábhachtach ag Fáinní Séalaithe SSiC maidir le scaradh aerdhíonach a choinneáil idir spás an tseomra imoibríoch agus na tionóil mheicniúla máguaird. Cinntíonn a bporóiseacht thar a bheith íseal agus a bhfriotaíocht creimeadh gan sárú sláine gáis fhadtéarmach laistigh den imoibrí, rud a chuireann cosc ​​ar sceitheadh, éilliú, agus imoibrithe seadánacha a d'fhéadfadh cur isteach ar aonfhoirmeacht an scannáin nó ar chruinneas na ndópán. I gcórais gabhdóirí rothlacha, cuireann an fhriotaíocht chaitheamh níos fearr agus an chobhsaíocht tríthoiseach de SSiC ar chumas oibriú réidh, saor ó cháithníní trí thimthriall teirmeach leanúnach, rud a thacaíonn le táirgeadh sraitheanna eipitacsacha Si, SiGe, SiC, agus GaN ardchaighdeáin.

I n-ardáin ALD, CVD, PECVD, agus LPCVD, feidhmíonn Fáinní Séalaithe SSiC mar phríomhshéalaí seomra, fáinní aonraithe, agus comhpháirteanna struchtúracha nochta do phlasma a chaithfidh réamhtheachtaithe bunaithe ar halaigine, creimeadh plasma, agus timthriallta caidéil síos arís agus arís eile a sheasamh. Mar gheall ar a gcumas fanacht támh go ceimiceach i láthair TEOS, TMA, clóraisiléin, speicis fluairín, agus fotháirgí taiscthe, is rogha eile iad seachas miotail brataithe nó séalaí ilchodacha polaiméire. Cuireann struchtúr criostalach dlúth SSiC Semixlab deireadh le gásáil amach agus giniúint cáithníní, rud a thacaíonn leis an ard-inathraitheacht agus na timpeallachtaí íseal-locht atá riachtanach le haghaidh taiscthe scannán tanaí chun cinn. Trí shéalú beacht agus sláine mheicniúil a choinneáil, cobhsaíonn na fáinní seo brú seomra, dáileadh teochta, agus próifílí sreafa réamhtheachtaithe - fachtóirí atá riachtanach do fheidhmíocht chomhsheasmhach scannáin tréleictrigh, bhacainn, agus eipitacsaigh.

I dtimpeallachtaí idirleata, annealaithe ardteochta, agus próiseála teirmí tapa, soláthraíonn Fáinní Séalaithe SSiC séalú iontaofa idir na criosanna imoibrithe te agus comhéadain mheicniúla comhthimpeallacha córas foirnéise. A bhuíochas dá gcomhéifeacht leathnaithe teirmeach thar a bheith íseal, in éineacht le diana briste ard agus friotaíocht ocsaídiúcháin den scoth, is féidir leo sláine gáis agus cobhsaíocht mheicniúil a chaomhnú fiú os cionn 1400°C. Cinntíonn sé seo gníomhachtú dopant aonfhoirmeach, atmaisféir foirnéise cobhsaí, agus comhsheasmhacht vaiféar go vaiféar, ag íoslaghdú ionchorprú eisíontas agus ag laghdú drift i bparaiméadair phróisis. I gcás foirnéisí feadáin agus seomraí RTP/RTA araon, cinntíonn athléimneacht SSiC faoi rampaí teochta tapa saolréanna oibríochta fada, níos lú cur isteach cothabhála, agus íonacht phróisis chosanta.

Trí chigireacht micreastruchtúrach ardtaifigh, meastóireacht ar fhriotaíocht plasma-eitseála, rialú beacht-thoiseach, agus anailís éillithe, déantar gach fáinne séalaithe a bhailíochtú i gcoinne caighdeáin dhian tionscail dhomhanda. Taispeánann na comhpháirteanna a eascraíonn as seo eisíontais ianacha thar a bheith íseal, tréscaoilteacht beagnach nialasach, agus cobhsaíocht thoiseach fhadtéarmach, rud a chuireann ar chumas monarchana agus monaróirí trealaimh am ar fáil níos airde, timthriallta PM sínte, agus aonfhoirmeacht phróisis níos fearr a bhaint amach ar fud línte táirgeachta. Is é Semixlab i gcónaí do chomhpháirtí iontaofa fadtéarmach i réimse an charbaíd sileacain shintéirithe leathsheoltóra (SSiC).