Gabhdóir Grafíte Brataithe SiC MOCVD

1. Saol méadaithe faoi 300%+

Cuireann an teicneolaíocht ciseal maolánach ar chumas líon na dtimthriallta turraing theirmigh a bheith níos mó ná 5,000 uair (níos lú ná 1,500 uair i gcás táirgí traidisiúnta).

Is féidir leis an teocht oibriúcháin leanúnach 1650°C a bhaint amach, agus ní thaispeánann an sciath aon scoilteanna ná feannadh.

2. Ráthaíocht gan truailliú

Is é íonacht sciath SiC grád 6N (méid iomlán na n-eisíontais miotail <0.5ppm).

D'éirigh leis an tástáil scaoileadh cáithníní caighdeánach SEMI (glaineacht Aicme 10) a rith.

3. Uasghrádú ar aonfhoirmeacht réimse teirmeach

Tá an difríocht teochta ar dhromchla an bhoinn níos lú ná ±2°C (sonraí tomhaiste don tsonraíocht Φ300mm).

Tacaíonn sé le téamh tapa (20°C/s) gan dífhoirmiú teirmeach.

4. Friotaíocht creimeadh den scoth

Frithsheasmhach in aghaidh creimeadh ó gháis ar nós H2, NH3, agus TMAl, le saol seirbhíse os cionn 18 mí.

Tá an ráta athraithe ar gharbhacht dromchla níos lú ná 5% (tástáilte tar éis 100 timthriall próisis).

5. Ag luí le samhlacha príomhshrutha ar fud an domhain

Tacaíonn sé le saincheapadh i dtrastomhais idir 50 agus 500mm.

6. Uasmhéadú costas iomlán saoilré

Tá an timthriall cothabhála sínte go trí huaire níos faide ná táirgí rialta.

Tá méadú 2-3% tagtha ar ráta toraidh na sceallóga eipitacsacha.

Neart na Cuideachta

Tá 2 ionad T&F, 2 bhunáit táirgthe, 12 líne táirgthe, breis is 150 fostaí ag Semixlab Technology Co., Ltd, agus is ionann infheistíocht T&F agus níos mó ná 30%. Úsáidtear leagan amach ár dtáirgí go príomha i dtionscail LED, ciorcad comhtháite IC, leathsheoltóirí tríú glúin, fótavoltach agus tionscail eile. Tá cumais láidre T&F, táirgthe agus tástála agus fíoraithe comhtháite ag Semixlab. Ag an am céanna, táimid i gcónaí ag feabhsú ár dteicneolaíochta agus ár dtrealaimh le hinfheistíocht de na deicheanna milliún in aghaidh na bliana.

Príomhpharaiméadair feidhmíochta

Paraiméadair tionscadail

Is é graifít brúite isostatach SGL an t-ábhar bonn

Tiús sciath: 80-200μm (inoiriúnaithe)

Is é íonacht an sciath ≥99.9999%

Dlús: 1.85-1.90 g / cm³

Seoltacht theirmeach: 125 W/m·K (RT)

Neart lúbthachta ≥45 MPa

Teocht oibriúcháin ≤1800°C (atmaisféar támh)

Córas dearbhaithe cáilíochta

Inrianaitheacht iomlán phróisis: Taifeadadh iomlán sonraí ón tsubstráit graifíte go dtí an próiseas sciath.

Brath beachtais: anailís sciath SEM/EDS, braite sceite mais-speictriméadrachta héiliam, tástáil turraing theirmeach ardteochta.

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC:

Cásanna nó trealamh feidhmchláir: Trealamh Aixtron Epi

Cásanna feidhmchláir lárnacha

● Déantúsaíocht sliseanna LED: fás eipitacsach LED gorm/bán GaN.

● Leathsheoltóirí cumhachta: gléasanna cumhachta SiC/GaN (MOSFET, HEMT).

● Gléasanna minicíochta raidió 5G: foshraith sliseanna minicíochta raidió micreathonn ardmhinicíochta.

● Dé-óid léasair: VCSEL, próiseas eipitacsach léasair astaíochta imeall.

● Pacáistiú ardteicneolaíochta: Taisceadh scannán tanaí leathsheoltóra ardchruinneas.

Forbhreathnú ar shlabhra tionscail eipitacsais sliseanna leathsheoltóra: