EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Suceptor Bairille Graifíte sciath SiC
Sonraigh go tapa:
1. Ainmneacha eile: Bairille graifíte foirnéise epitaxial, tráidire vaiféir brataithe SiC, cineál bairille gabhdóra vaiféir, gabhdóir graifíte
2. Feidhmchlár: Le haghaidh próiseas fáis eipitacsach vaiféir
3. Príomhpharaiméadair: Is féidir aonchineálacht réimse sreabhadh gáis agus réimse teirmeach sa seomra imoibrithe a bharrfheabhsú trí mhaitrís graifíte ardíonachta brú iseastatach a úsáid in éineacht le teicneolaíocht sciath SiC taiscthe gaile ceimiceach (CVD) le friotaíocht teochta 1600 ℃, seoltacht theirmeach 300W/m·K agus íonacht ≥99.9995%, agus is féidir dlús locht an chiseal eipitacsaigh a bheith
laghdaithe go suntasach.
Tuairisc
Is é Gabhdóir Bairille Eipitacsach Sciatháin Graifíte an príomh-inchaite le haghaidh trealaimh fáis eipitacsaigh Si, agus comhcheanglaíonn a dhearadh seoltacht theirmeach ard graifíte le friotaíocht mhór creimeadh sciatháin SiC. Is graifít ardíonachta Sigley (íonacht ≥99.9995%) an tsubstráit a fhoirmítear trí phróiseas brú iseastatach. Taisceadh an sciath β-SiC dlúth 50μm ar an dromchla trí phróiseas CVD. Cuireann sé bac éifeachtach ar scaoileadh eisíontas an mhaitrís graifíte i dteocht ard (1200-1800 ℃) agus i ngáis ionsaitheacha (mar shampla SiH4, C3H8, agus H2), ag seachaint éillithe na vaiféar. Dearadh bairille (le haghaidh trealaimh 4/6/8 orlach) Trí chonair an tsreafa aeir agus dáileadh an réimse theirmigh a bharrfheabhsú, rialaítear aonfhoirmeacht tiús an tsraith eipitacsaigh laistigh de ±1.5%, agus laghdaítear dlús an locht go <0.05cm-2Ina theannta sin, tá comhéifeacht leathnú teirmeach sciath SiC agus maitrís graifíte an-mheaitseáilte (4.5 × 10-6/K i gcoinne 4.8×10-6/K), ag seachaint scoilteadh sciath nó sceitheadh cáithníní de bharr strus ardteochta, agus ag cinntiú oibriú cobhsaí fadtéarmach an trealaimh. Cuireadh an chomhpháirt i bhfeidhm ar líne táirgthe eipitacsach vaiféir na monaróirí leathsheoltóra is mó sa tSín, laghdaíodh costas eipitacsach na foirnéise aonair 40%, agus méadaíodh toradh na feiste go 98%.
Susceptor cineál bairille i gcomparáid le susceptor pancóg
| Carachtar | Gabhdóir Cineál Bairille | Glacadóir Pancóg |
| Aonfhoirmeacht teochta | Aonfhoirmeacht beagán níos ísle mar gheall ar shreabhadh aeir ingearach agus siméadracht radaíochta (cúiteamh casta teochta ag teastáil). | Tá siméadracht an réimse theirmigh ard, agus tá an aonfhoirmeacht teochta san eitleán níos fearr. |
| Éifeachtúlacht sreabhadh gáis | Sníonn an sreabhadh aeir feadh bhalla an bhairille, agus is furasta na sliseáin imeall a ghreanadh/a thaisceadh. | Tá an sreabhadh ingearach le dromchla an sceallóige, agus is furasta an sreabhadh agus an treo a rialú. |
| Cumas agus costas | Tréchur ard, oiriúnach le haghaidh olltáirgeadh (líon ard vaiféirí in aghaidh an aonaid ama). | Tréchur íseal, oiriúnach do T&F/táirgeadh baisce beag. |
| Castacht cothabhála | Tá an struchtúr casta, agus tógann an glanadh agus an t-athsholáthar tamall fada. | Dearadh oscailte, cothabháil éasca. |
sonraíochtaí
| Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC | |
| Maoin | Luach tipiciúla |
| Struchtúr Crystal | FCC β chéim polycrystalline, go príomha (111) atá dírithe |
| Dlús | 3.21 g / cm³ |
| Cruas | Cruas 2500 Vickers (ualach 500g) |
| Méid Gráin | 2 ~ 10μm |
| Íonacht Cheimiceach | 99.99995% |
| Cumas Teasa | 640 J·kg-1·K-1 |
| Teocht sublimation | 2700 ℃ |
| Neart Solúbtha | 415 MPa RT 4-phointe |
| Modal Óg | Bend 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
| Seoltacht Teirmeach | 300W·m-1·K-1 |
| Leathnú Teirmeach (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Iarratais
Úsáidte le haghaidh próiseas eipitacsais sileacain/CVD.
Úsáidtear den chuid is mó i bhfeistí traidisiúnta LPE nó CVD (amhail córais luatha Aixtron).
Buntáiste Iomaíoch
Friotaíocht in aghaidh timpeallachta creimeadh foircneach: tá sciath β-SiC frithsheasmhach in aghaidh creimeadh agus ocsaídiú plasma, agus tá a shaol 5 huaire níos faide ná saol graifít neamhbhrataithe.
Rialú beacht ar an réimse teirmeach: laghdaíonn struchtúr bairille suaitheadh, meaitseálann an seoltacht theirmeach an tsubstráit, agus seachnaíonn sé teip struis theirmigh.
Gan aon riosca éillithe: foshraith agus sciath thar a bheith ardíonachta, cion eisíontais miotail (Fe, Al) < 0.1ppm.
Seirbhís phróisis iomláin: próiseáil maitrís tacaíochta, taisceadh sciath, seachadadh aon-stad tástála feidhmíochta.
