Bád sliseog leathsheoltóra grianchloch

Is uirlisí imthacaí ríthábhachtacha iad báid vaiféir grianchloch leathsheoltóra Semixlab atá deartha le haghaidh próiseas ardteochta amhail idirleathadh, ocsaídiú, CVD, annealing, etc., i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Déanta as grianchloch shintéiseach ardíonachta a bhfuil friotaíocht ardteochta den scoth aige, cobhsaíocht cheimiceach agus comhéifeacht leathnúcháin theirmigh íseal, is féidir leis vaiféir a iompar go cobhsaí i dtimpeallachtaí próisis ghéara chun comhsheasmhacht phróisis agus toradh táirge a chinntiú.

Trealamh infheidhme: Ag luí le gach cineál Foirnéise Idirleata Cothrománach/Ingearach (Foirnéis Idirleata Cothrománach/Ingearach), córas LPCVD agus trealamh cóireála teasa tapa (RTP).

Dearbhú cáilíochta

Rialú cáilíochta dian: Braiteadh sceite mais-speictriméadrachta héiliam 100% (ráta sceite <1 × 10⁻⁹ mbar·L/s). Eisítear tuarascáil íonachta ábhair (tástáil ICP-MS) do gach baisc.

Caighdeáin deimhniúcháin: I gcomhréir le sonraíochtaí SEMI F47, tríd an deimhniú córais bainistíochta cáilíochta ISO 9001:2015.

Saol seirbhíse: is mó ná 2 bhliain an meánré faoi ghnáthchoinníollacha (ag brath ar mhinicíocht an phróisis agus ar choinníollacha teochta).

Cén fáth a roghnófá ár mbád grianchloch?

Seirbhísí saincheaptha: Méid agus tógáil saincheaptha de réir mhúnla trealaimh (TEL, Kokusai, ASM, srl.) agus riachtanais phróisis.

Freagra tapa: Is é 3 seachtaine an t-am seachadta caighdeánach, is féidir orduithe práinneacha a laghdú go 10 lá oibre.

Líonra seirbhíse domhanda: Comhairle theicniúil, treoir suiteála agus tacaíocht chothabhála iar-díolacháin a sholáthar. Sonraíochtaí Ábhar.

Sonraíocht tionscadail

Sintéis ábhair Grianchloch comhleáite

Íonacht ≥99.99% SiO₂

Comhoiriúnacht le méid na vaiféir 8", 12" (is féidir é a shaincheapadh 6" nó 18")

Teocht oibriúcháin ≤1200°C (leanúnach) / 1300°C (buaic)

Comhéifeacht leathnúcháin theirmigh (CTE) 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Garbhacht dromchla (Ra) ≤0.2μm

Cumas caighdeánach 25/50/100 táibléad

Gáis phróisis infheidhme O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl, etc.

Ocsaídiú/idirleathadh ardteochta: dópáil sileacain (idirleathadh fosfar, bóróin), fás ocsaíd geata.

Taisceadh scannáin tanaí: sileacan polachriostalach LPCVD, taisceadh níotráite sileacain (Si₃N₄).

Próiseas annealing: annealing tar éis ionchlannú ian (RTA), cóimhiotalú miotail.

Leathsheoltóir tríú glúin: próiseas eipitacsach cairbíd sileacain (SiC), níotráit ghailliam (GaN).

1. Saintréithe ábhartha

Grianchloch thar a bheith ardíonachta (>99.99% SiO₂): seachnaíonn sé truailliú ó iain miotail (Na+, K+, Fe³+, srl.) agus comhlíonann sé na ceanglais glaineachta do phróisis ardleibhéil (nóid <5nm).

Friotaíocht ardteochta: teocht oibriúcháin leanúnach 1200°C, friotaíocht teochta meandarach 1300°C, gan aon riosca dífhoirmithe ná criostalaithe.

Táimhe cheimiceach: Seasann sé i gcoinne gásanna próisis amhail HCl, H₂, O₂, SiH₄ agus timpeallachtaí aigéadacha/alcaileacha. Neamhchreimneach in úsáid fhadtéarmach.

2. Dearadh beachtais

An struchtúr a bharrfheabhsú:

Is é ±0.05mm cruinneas spásáil na sliotán, rud a chinntíonn suíomh cruinn na vaiféir (8/12 orlach) agus a chuireann cosc ​​ar scríobtha nó ar dhíláithriú.

Dearadh atá frithsheasmhach in aghaidh turraing theirmeach, oiriúnaíonn sé d’ardú agus do thitim thapa (ráta téimh ≤20°C/nóim).

Foirmiú cáithníní íseal: Tá an dromchla snasta go sár-chruinn (Ra ≤0.2μm) chun ceangaltán agus titim cáithníní a laghdú.

3. Cumraíocht éagsúlaithe

Cumas Roghnach: Tacaíonn sé le 25 píosa, 50 píosa, 100 píosa agus sonraíochtaí caighdeánacha eile, is féidir uimhir sliotán neamhchaighdeánach a shaincheapadh freisin.

Oiriúnú cineáil: Bád Oscailte, Bád Dúnta nó cineál speisialta báid (amhail dearadh cainéal atreoraithe bun báid).

C1: An féidir leat méid neamhchaighdeánach nó dearadh speisialta a sholáthar?

A1: Tacaíonn Semixlab le haghaidh seirbhísí saincheaptha, lena n-áirítear coigeartú méide, uasteorainn teochta (tá uasghrádú ábhair ag teastáil) nó cineál comhéadain. Téigh i dteagmháil le foireann theicniúil Semixlab le haghaidh riachtanais shonracha.

C2: Cá fhad atá an t-am luaidhe?

A2: Is é 4-6 seachtaine an t-am seachadta do tháirgí caighdeánacha, agus is é 2-3 seachtaine an t-am deartha agus fíoraithe do tháirgí saincheaptha.

C3: An soláthraíonn tú tacaíocht theicniúil iar-díolacháin?

A3: Sea, soláthraímid comhairliúchán teicniúil ar feadh an tsaoil agus seirbhísí freagartha éigeandála. I gcás fadhbanna suiteála nó úsáide, is féidir teagmháil a dhéanamh leis an bhfoireann tacaíochta ag am ar bith trí ríomhphost nó teileafón.

C4: An gcomhlíonann an táirge caighdeáin thionscal na leathsheoltóirí?

A4: Sea, comhlíonann an próiseas táirgthe caighdeáin SEMI agus tá sé deimhnithe ag córas bainistíochta cáilíochta ISO 9001. Déantar tástáil ar gach baisc maidir le teannas aeir, friotaíocht teochta agus íonacht sula bhfágann sé an mhonarcha.