Bád SiC Ard-Íonachta

Is iompróir ceirmeach ardfheidhmíochta é bád sileacain charbíde ard-íonachta (SiC) atá deartha le haghaidh próiseas leathsheoltóra ardteochta, fás criostail agus cóireáil teasa beacht. Tá sé sintéaraithe le hábhar SiC thar a bheith ard-íonachta agus tá friotaíocht ardteochta den scoth aige, friotaíocht turraing theirmigh agus cobhsaíocht cheimiceach. Úsáidtear go forleathan é i scaipeadh leathsheoltóra, CVD, eipitacsas LED agus fás criostail aonair fótavoltach.

Feidhmchlár:

Is tomhaltán próisis leathsheoltóra ríthábhachtach é Bád SiC Ard-Íonachta, a úsáidtear go príomha chun vaiféir a iompar agus a aistriú i dtimpeallachtaí ardteochta, agus úsáidtear go forleathan é i bpróisis idirleata, ocsaídiúcháin, annealing agus CVD vaiféir sileacain. Tá sé oiriúnach go háirithe do phróisis ardteochta leathsheoltóirí tríú glúin (amhail SiC/GaN) agus gléasanna cumhachta.

Seirbhísí is féidir a sholáthar:

anailís ar chás iarratais do chustaiméirí, ábhair mheaitseála, réiteach fadhbanna teicniúla.

Phróifíl na Cuideachta:

Tá 2 shaotharlann ag Semixlab, foireann saineolaithe le 20 bliain de thaithí ábhartha, le T&F agus cumais táirgthe, tástála agus fíoraithe.

Paraiméadair Teicniúil

Príomhréimsí iarratais

Formhuiniú fíoraithe slabhra éiceolaíochta

Clúdaíonn fíorú slabhra éiceolaíoch Semixlab High-Purity SiC Boat amhábhair go dtí an táirgeadh, tá deimhniú caighdeánach idirnáisiúnta rite aige, agus tá roinnt teicneolaíochtaí paitinnithe aige chun a iontaofacht agus a inbhuanaitheacht a chinntiú i réimsí leathsheoltóra agus fuinnimh nua.

Próiseas iarratais tipiciúil

Ullmhú Amhábhar (Púdar SiC Ard-Íonachta) → Próiseas Foirmithe (Brú Tirim/Brú Iseastatach) → Próiseas Sintéirithe → Meaisínithe & Críochnú Dromchla (Meilt/Snasú CNC, Greanadh Ceimiceach, Ainéalú) → Íonú & Sciath CVD → Rialú Cáilíochta → Pacáistiú

Trí uasmhéadú paraiméadair phróisis cheannródaíoch, cinntíonn dearadh struchtúrach uathúil Bád SiC Ard-Íonachta Semixlab cobhsaíocht den scoth do shliseáin agus laghdaíonn sé an riosca éillithe cáithníní go suntasach. Is féidir lena shaolré seirbhíse 5-8 n-uaire níos faide ná saolré báid grianchloiche traidisiúnta, rud a fhágann gur réiteach iompróra idéalach é le haghaidh próiseála sliseáin ardteochta. Cuireann an nuálaíocht seo ar a chumas allmhairí a athsholáthar de réir a chéile sa mhargadh leathsheoltóra, ag soláthar réiteach intíre ardfheidhmíochta, cost-éifeachtach.

Chun sonraíochtaí teicniúla mionsonraithe, páipéir bhána, nó socruithe tástála samplacha a fháil, déan teagmháil lenár bhFoireann Tacaíochta Teicniúla le fiosrú conas is féidir le Semixlab éifeachtúlacht do phróisis a fheabhsú.

Buntáistí lárnacha báid SiC ard-íonachta Semixlab

1. Íonacht mhór (príomhbhuntáiste)

Tá íonacht thar a bheith ard (≥99.9999%) ag Semixlab SiC Boat Ard-Íonachta, agus rialaítear an cion eisíontais (Fe, Al, Na, etc.) ag an leibhéal 1 ppm chun éilliú vaiféir nó ábhar eipitacsach a sheachaint, rud atá oiriúnach go háirithe do mhonarú leathsheoltóirí SiC/GaN.

2. Táimhe cheimiceach (friotaíocht creimeadh)

Frithsheasmhach in aghaidh creimeadh aigéid, alcaile/plasma, agus is féidir leis seasamh in aghaidh gás creimneach amhail HF, HCl, H2 (amhail próisis ghreantála leathsheoltóra). Ní ​​scaoiltear gás ag teochtaí arda.

3. Neart meicniúil agus saolré

Laghdaíonn cruas thar a bheith ard, friotaíocht den scoth in aghaidh caitheamh, an baol go gcaillfear cáithníní, agus síneann sé saolré na seirbhíse (de ghnáth 3 go 5 huaire níos mó ná bád grianchloiche). Ní ​​dhéantar é a dhífhoirmiú go héasca ag teochtaí arda, agus coinníonn sé cothrom na vaiféire (amhail castacht i bhfoirnéis scaipthe <0.1mm).

4. Comhoiriúnacht phróisis

Inoiriúnaithe do réimse timpeallachtaí crua, atmaisféir ocsaídiúcháin/laghdaithe (amhail O2, H2, Ar) agus próisis sciath CVD/PVD. Is féidir an dromchla a shaincheapadh, amhail snasú (Ra<0.1μm) nó sciath (amhail SiO2) chun éilliú a laghdú tuilleadh.