EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Bád Vaiféir SiC Ard-Íonachta
Mar mhonaróir agus soláthraí ceannródaíoch Síneach de Bhád Vaiféir SiC Ard-Íonachta, úsáidtear bád vaiféir Sileacain Charbaíde Semixlab go forleathan i naisc phróisis thábhachtacha amhail LPCVD, ocsaídiú agus annealing mar gheall ar a chobhsaíocht theirmeach den scoth, a fhriotaíocht creimeadh agus a neart meicniúil. Más Bhád Vaiféir SiC atá uait ar féidir leis éilliú cáithníní a íoslaghdú, saol seirbhíse a shíneadh agus sábháilteacht vaiféir a chinntiú, is é an táirge seo an rogha is fearr duit.
Tuairisc
I réimse na déantúsaíochta leathsheoltóirí, cuireann próisis ardteochta dúshláin mhóra roimh iompróirí vaiféir. Nuair a sháraíonn an teocht 1600℃, tosaíonn an t-iompróir grianchloch traidisiúnta (bád grianchloch a úsáidtear i vaiféir) ag maolú agus ag dífhoirmiú agus ag scaoileadh truailleán, rud a fhágann go n-ardóidh an ráta dramh-vaiféir go mór.
Réitíonn Bád Vaiféir SiC Ard-Íonachta, leis na buntáistí ábhartha dúchasacha a bhaineann le carbóid sileacain (SiC), an pointe pian seo sa tionscal go hiomlán agus éiríonn sé ina uirlis riachtanach do mhonarú leathsheoltóra chun cinn, go háirithe táirgeadh gléasanna cumhachta SiC.
sonraíochtaí
Príomhairíonna fisiciúla agus paraiméadair theicniúla an táirge:
| Táscairí feidhmíochta | Bád Vaiféir SiC Ard-Íonachta | Iompróir grianchloch traidisiúnta | Buntáistí feabhsaithe |
| Uasteocht oibriúcháin | 1800°C (leanúnach) / 2000°C (buaic) | 1200 ° C | Feabhsaíodh friotaíocht teochta faoi 50% |
| Seoltacht theirmeach | 4.9 W/cm·K (teocht an tseomra) | 1.5 W/cm·K | Méadaíodh éifeachtúlacht diomailt teasa faoi 226% |
| Comhéifeacht leathnú teirmeach | 4-5 × 10⁻⁶/K | 0.55 × 10⁻/K | Feabhsaíodh cobhsaíocht theirmeach 7 n-uaire |
| Cruas | Mohs 9.2 (an dara háit i ndiaidh diamant amháin) | Maith 7 | Feabhsaíodh friotaíocht caitheamh 30 uair |
| Strus pointe teagmhála vaiféir | <5 MPa (dearadh frith-shleamhnáin) | > 20 MPa | Laghdaíodh ráta sleamhnáin na vaiféir faoi 80% |
| Scaoileadh cáithníní | 0 cáithnín/cm² (glaineacht Rang 100) | >50 cáithnín/cm² | Truailliú gar do náid |
Eascraíonn feidhmíocht den scoth iompróir na sceallóga sileacain charbíde (Iompróir Sceallóga SiC) as a airíonna uathúla eolaíochta ábhair. Seo a leanas comparáid mhionsonraithe ar na príomhpharaiméadair fhisiceacha:
Aistríonn na paraiméadair seo go díreach go dtí toradh feabhsaithe agus costais laghdaithe i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí, mar a thaispeántar sa méid seo a leanas:
Buntáiste feidhmíochta teirmeach: Cinntíonn bearna bhanda leathan SiC (3.26 eV) go gcoinníonn sé struchtúr criostail cobhsaí ag 2000°C agus go seachnaíonn sé dífhoirmiú teirmeach. Ligeann seoltacht theirmeach ard (4.9 W/cm·K) don sceallóg a bheith téite níos cothroime agus cuireann sé deireadh le lochtanna laitíse de bharr struis theirmigh.
Neart meicniúil: Seasann cruas 9.2 Mohs i gcoinne tionchair fhisiciúil le linn an phróisis, agus tá an saol seirbhíse níos mó ná 10 n-uaire níos faide ná saolré iompróirí grianchloch traidisiúnta. Rialaíonn an dearadh sliotán leathchiorclach uathúil an strus teagmhála vaiféir faoi bhun 5MPa, rud a chuireann deireadh leis an bhfeiniméan sleamhnáin ardteochta go bunúsach.
Táimhe cheimiceach: Tá an fhulangacht do gháis an-chreimneacha amhail HF agus HCl níos mó ná 10,000 uair an chloig, agus ní choinnítear aon truailliú i LPCVD, idirleathadh, ocsaídiú agus próisis eile.
Iarratais
Príomhról Bád Wafer SiC Ard-Íonachta
Úsáidtear ár mBád Wafer SiC Ard-Íonachta go forleathan sna príomhphróisis déantúsaíochta leathsheoltóra seo a leanas:
Anáil Ardteochta: I líne táirgthe mhonaróra vaiféir sic, is céim ríthábhachtach í análú ardteochta chun dopants a ghníomhachtú agus lochtanna laitíse a dheisiú. Cinntíonn cobhsaíocht ardteochta bhád vaiféir SiC aonfhoirmeacht agus éifeachtacht an phróisis análú.
Fás Eipeatacsach: Cibé acu eipitacsas bunaithe ar sileacan nó eipitacsas vaiféir charbaíde sileacain atá i gceist, is iompróir idéalach é bád vaiféir SiC chun fás ciseal eipitacsach ardchaighdeáin a chinntiú.
Idirleathadh: Sa foirnéis scaipthe ardteochta, is féidir leis an mbád vaiféir SiC sa bhád vaiféir LPCVD cóireáil ardteochta fhadtéarmach a sheasamh chun scaipeadh aonfhoirmeach adaimh dópála a chinntiú agus airíonna leictreacha beachta a chruthú.
Taiscí Scannán Thana: Go háirithe i gcás feidhmchláir bhád vaiféir Lpcvd, cuidíonn an sceitheadh cáithníní thar a bheith íseal agus an seoltacht theirmeach den scoth atá ag bád vaiféir SiC le scannáin ardchaighdeáin agus ard-aonfhoirmeachta a fháil.
Comhoiriúnacht trealaimh agus próisis chomhoiriúnacha:
✔ Ag luí le foirnéisí LPCVD príomhshrutha (amhail TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar, srl.)
✔ Sonraíochtaí vaiféir saincheaptha amhail 100mm/150mm/200mm
✔ Tacaíonn sé le suiteáil trealaimh phróisis chothrománach agus ingearach
Is rogha iontach é bád vaiféir SiC Semixlab chun éifeachtúlacht do phróisis agus toradh do tháirge a fheabhsú, agus is ceannaire é i réitigh bád vaiféir leathsheoltóra chun cinn.
ár Seirbhísí
Siopa Táirgí Semixlab
Siopaí táirgí Semixlab
