Cumhdach Carbide Sileacain CVD (SiC).

Is ciseal sileacain charbaíde atá taiscthe ar ghraifít é sciath CVD SiC go bunúsach, agus úsáidtear go forleathan é in uirlisí eipitacsacha ina bhfuil tábhacht le teocht agus glaineacht araon. I línte táirgeachta fíor, is minic a fheicfidh tú é i gcórais ó AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, chomh maith le roinnt ardán a bhaineann le AMAT. Ní hamháin an fhriotaíocht teochta a fhágann go bhfuil sé úsáideach, ach an chobhsaíocht fhoriomlán le linn ritheanna fada. Faoi choinníollacha tipiciúla eipitacsacha - hidrigin, amóinia, nó fiú gáis chlóirínithe - fanann an sciath réasúnta cobhsaí agus cosnaíonn sé an graifít faoi. Cuidíonn sé sin leis an réimse teirmeach a choinneáil níos comhsheasmhaí agus laghdaíonn sé an seans go dtiocfaidh cáithníní chun cinn le linn fáis.

An chuid is mó den am, cuirtear an sciath i bhfeidhm ar chodanna cosúil le gabhdóirí, iompróirí vaiféir, fáinní graifíte, nó comhpháirteanna leathghealaí. Tá baint dhíreach ag na codanna seo go léir le téamh nó suíomh vaiféir, mar sin is féidir le haon éagobhsaíocht bheag tionchar a imirt ar an toradh. Ar an gcúis sin, is minic a dhéantar páirteanna brataithe a láimhseáil mar ábhair inchaite a chaithfidh a bheith iontaofa fós thar il-thimthriallta, go háirithe i dtáirgeadh 4 go 12 orlach.